扫描电镜室

场发射扫描电子显微镜

英文名：Field-emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM)

型 号：SU8010

制造商：日本日立高新技术公司（Hitachi）

房 间：化学实验楼135室 负责人：曹可生 联系电话：18737532760

年 份：2015年

主要用途：

与能谱仪（EDS）配合使用，广泛用于材料科学、生物学、医学、化工原料、地质矿物、宝石鉴定、考古和文物鉴定、公安刑侦物证分析，适合固体样品的形貌观察与尺寸分析、表面微区的元素定性和半定量分析（点、线、面分布）以及材料失效分析。

主要技术参数：

1. 二次电子分辨率：1.0 nm（加速电压15 kV，4 mm工作距离），1.3 nm（着陆电压1 kV，1.5 mm工作距离）。

2. 放大倍率：低倍模式20~2000×，高倍模式100~800000×。

3. 操作电压：加速电压0.5~30 kV（标准模式）；着陆电压0.1~2.0 kV（减速模式）。

4. 电子枪：冷阴极场发射电子枪。

5. 探针电流：1 pA~2 nA。

6. 扫描透射探头（STEM）：观察明暗场像。

7. 配套附件：X射线电制冷能谱仪（EDS），购置年份为2014年，制造商为美国伊达克斯（EDAX）公司，型号为Octane Super，晶体有效检测面积60 mm²，Mn的K_α处的分辨率优于129 eV，可测元素范围⁴Be-⁹²U。